臥式擴(kuò)散爐--擴(kuò)散爐

　　擴(kuò)散爐--高溫?cái)U(kuò)散爐，臥式擴(kuò)散爐，晨立簡單介紹：

　　擴(kuò)散爐--高溫?cái)U(kuò)散爐，臥式擴(kuò)散爐，晨立

　　設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光 電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。

　　設(shè)備特點(diǎn)：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。

　　主要技術(shù)指標(biāo)：

　　★ 爐管數(shù)：1～4管

　　★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)

　　★ 恒溫區(qū)長度： 760～1000 mm?1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm?0.5℃(800～1280℃)

　　★ 單點(diǎn)穩(wěn)定性： ?1.0℃/24h (300～800℃) ?0.5℃/24h (800～1280℃)

　　★ 氣源路數(shù)： ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器

　　★ 氣體控制： 浮子/質(zhì)量流量計(jì)

　　★ 懸臂舟參數(shù)： 速度： 20～1000 mm/min 大行程：2000 mm 定位精度：?1 mm 大載荷：17 Kg

　　★ 超凈工作臺(tái)： 凈化等級(jí)：100級(jí)（萬級(jí)廠房）

　　噪音： ≤62dB（A）

　　振動(dòng)： ≤3μm

　　晨立新擴(kuò)散爐設(shè)備新鮮出爐,技術(shù)和質(zhì)量已達(dá)國際水平,受到半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)高度關(guān)注.可完全替代國外同規(guī)格產(chǎn)品滿足不同工藝的要求.