品牌：晨立擴(kuò)散爐
型號(hào)：CL
類型：高溫?cái)U(kuò)散爐，臥式擴(kuò)散爐
用途：用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光 電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。
功率：1kw
外形尺寸：1mm
重量：1kg
爐管數(shù)：1～4管
配工藝管口徑：Φ90～360 mm 3～12英寸
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：760～1500 mm
單點(diǎn)穩(wěn)定性：±1.0℃/24h 300～800℃ ±0.5℃/24h 800～1280℃
氣源路數(shù)：≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器
| | 臥式擴(kuò)散爐--擴(kuò)散爐 | 擴(kuò)散爐--高溫?cái)U(kuò)散爐，臥式擴(kuò)散爐，晨立簡(jiǎn)單介紹： --高溫?cái)U(kuò)散爐，臥式擴(kuò)散爐，晨立 設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光??? 電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。 設(shè)備特點(diǎn)：?jiǎn)卧M合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺(tái)、懸臂推拉舟等。???? 主要技術(shù)指標(biāo)： ★ 爐管數(shù)：1～4管 ★ 配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸) ★?恒溫區(qū)長(zhǎng)度：?760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)? 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃) ★?單點(diǎn)穩(wěn)定性：?±1.0℃/24h (300～800℃)??? ±0.5℃/24h (800～1280℃) ★?氣源路數(shù)：??? ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器 ★?氣體控制：??? 浮子/質(zhì)量流量計(jì) ★?懸臂舟參數(shù)：?速度：??? 20～1000 mm/min??? 最大行程：2000 mm?? ?定位精度：±1 mm??? 最大載荷：17 Kg ★?超凈工作臺(tái)：?凈化等級(jí)：100級(jí)（萬級(jí)廠房） 噪音：??? ≤62dB（A） 振動(dòng)：??? ≤3μm 晨立最新擴(kuò)散爐設(shè)備新鮮出爐,技術(shù)和質(zhì)量已達(dá)國(guó)際水平,受到半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)高度關(guān)注.可完全替代國(guó)外同規(guī)格高端產(chǎn)品滿足不同工藝的要求. | | 擴(kuò)散爐爐體 | 一、爐體材料: ★?? 爐絲：Φ8～Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。 ★?? 絕緣子:采用99瓷制作，碳化硅管用高腳，石英管用矮腳。 ★?? 保溫棉: 采用英國(guó)摩根公司生產(chǎn)的高溫保溫材料。 ★??? 外殼: 304不銹鋼板卷制而成,連接處采用不銹鋼拉鉚釘連接。 ★??? 熱偶座：進(jìn)口彈簧卡狀固定座。 ★??? 把口環(huán)：陶瓷纖維把口環(huán)，既保溫，又有一定機(jī)械強(qiáng)度。? 二、爐體參數(shù): ★???? 工作溫度：?? ≤1300℃ ★????? 恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 500mm-1000mm ★??? 爐體內(nèi)徑：?? Φ90～Φ360 mm（3～12英寸） ★?? 規(guī)范使用：?? 壽命可達(dá)20個(gè)月以上（1200℃） ★?? 替代進(jìn)口：?? 全方位配套 三、應(yīng)用： ?????? 青島晨立電子有限公司生產(chǎn)的擴(kuò)散爐體主要用做半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置?？膳c美國(guó)TEMPRESS、THERMCO，荷蘭ASM，英國(guó)BTU等國(guó)外多種型號(hào)擴(kuò)散爐配套（替代進(jìn)口），采用國(guó)外先進(jìn)的加工工藝，選用進(jìn)口材料，可應(yīng)用于處理3～12英寸硅片的擴(kuò)散爐、太陽能電池片擴(kuò)散爐 |
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