熱式氣體質(zhì)量流量計是一種利用熱擴散原理測量氣體流量的儀器。傳感器由兩個基準(zhǔn)熱電阻（RTD）組成。一個是速度傳感器RH，另一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器。

　　熱式氣體質(zhì)量流量計的結(jié)構(gòu)及工作原理，它利用流體(氣體)與固體(傳感探頭)之間的熱傳導(dǎo)原理,使氣體流量的變化,以溫度變化的形式檢測出來,再轉(zhuǎn)換成電信號,經(jīng)放大線性處理后,輸出與瞬時流量相對應(yīng)的4-20mA電流信號、LCD瞬時流量顯示和六位LCD累積流量顯示。圖1中,熱式氣體質(zhì)量流量計由傳感探頭和電子組件組成。傳感探頭由兩個傳感器組成,一個是流體速度傳感器,另一個是流體溫度傳感器。測量時,傳感探頭插入流體中,感受流體的流速和溫度。它們同時是電子組件橋路的兩上橋臂,形成一個不平衡電橋。

　　通電時,橋臂電流將速度傳感器加熱到高于流體溫度T2一個濕差ΔT的T1,即T1-T2=ΔT。不平衡電橋就變成平衡電橋。此時電橋便輸出一個對應(yīng)零流量的電壓,經(jīng)放大電路處理,輸出流量計的下限信號4mA;瞬時流量顯示為000;且累積流量無累積動作發(fā)生,累積顯示保持著原來的累積數(shù)字不變。當(dāng)流體流經(jīng)加熱的速度傳感器時,根據(jù)熱傳導(dǎo)原理,將會帶走速度傳感器的一部分熱量,使其溫度T1下降,而且流量越大,帶走的熱量越多,其溫度T1下降也越大,電橋又變成一個不平衡電橋。由于橋路的反饋控制作用,總要回到平衡電橋狀態(tài)。為此,電橋必須在速度傳感器上流過與流量大小成正比的電流,使速度傳感器回到平衡狀態(tài)時的溫度T1。這時橋路便輸出一個正比于流量大小的電壓信號。經(jīng)電路放大、線性化處理,使輸出與流量成正比的4-20mA之間的一個電流信號、瞬時流量顯示為直到比較大的一個刻度流量的一個值、累積動作將以與瞬時流量成正比的速度進(jìn)行累積

　　根據(jù)熱效應(yīng)的定律，加熱功率P.溫差△T(TRH-TRMG)與質(zhì)量流量Q有一定的數(shù)學(xué)關(guān)系。P/△T=K1+K2F(Q)K3K1.K2.K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。

　　熱式氣體質(zhì)量流量計獨特的溫差測量方法克服了熱氣體質(zhì)量流量計用恒溫差原理測量氣體流量時由于氣體中的水、油和雜質(zhì)造成的較大的零漂移，導(dǎo)致無法測量的缺點。

　　它還可用于測量水分氣體的質(zhì)量流量，如礦下瓦斯排放、送風(fēng)、排氣系統(tǒng)中的風(fēng)量（速度）的實時檢測。熱質(zhì)量流量計利用加熱體（加熱器）和流體（氣體）之間的熱傳遞現(xiàn)象來測量流量。

　　由于氣體類型和熱物性的不同，傳感器的靈敏度也不同。修正各種氣體靈敏度差的系數(shù)稱為轉(zhuǎn)換因子，應(yīng)用于流量計校準(zhǔn)的氣體以外的物種。

　　當(dāng)氣體類別時，必須使用轉(zhuǎn)換因子乘以輸出來糾正熱氣體質(zhì)量流量計的分類。

　　根據(jù)熱源和測溫方法的不同，熱質(zhì)量流量計可分為接觸式和非接觸式：

　　1.接觸式熱式氣體質(zhì)量流量計。

　　該質(zhì)量流量計的加熱元件和溫度測量元件放置在測量流體的管道中，與流體直接接觸，通常稱為托馬斯流量計，適用于測量氣體的大質(zhì)量流量，因為加熱和測量元件和測量。

　　流體直接接觸，因此元件容易被流體腐蝕和磨損，影響儀器的測量靈敏度和使用壽命。測量高流速。不應(yīng)選擇必要的腐蝕流體，這是接觸式的缺點。

　　2.非接觸式熱式氣體質(zhì)量流量計。

　　該流量計的加熱和溫度測量元件放置在流體管道外，不直接接觸被測流體，克服了接觸式的缺點。

　　熱式氣體質(zhì)量流量計的優(yōu)缺點。

　　1.優(yōu)點

　　熱質(zhì)量流量計可測量低流量(氣體0.02~2m/s)的微流量，浸入式熱質(zhì)量流量計可測量低~中高流量(氣體2~60m/s)，插入式熱質(zhì)量流量計更適合大管徑。

　　熱質(zhì)量流量計無活動部件，無分流管熱分布式儀表無阻流部件，壓力損失很小，熱分布式儀表和帶分流管的浸入式儀表，雖然測量管內(nèi)有阻流部件，但壓力損失也很小。

　　熱式氣體質(zhì)量流量計的使用性能相對可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量儀相比，只有流量傳感器，無需要溫度傳感器、壓力傳感器和計算單元，組成簡單，故障率小。氣體的比熱容會隨壓力溫度而變化，但溫度壓力附近的小變化可視為常數(shù)。

　　2.缺點

　　熱式氣體質(zhì)量流量計響應(yīng)迅速；測量氣體成分變化較大的地方，由于CP值和熱導(dǎo)率的變化，測量值變化較大；對于小流量，儀器會給測量氣體帶來相當(dāng)大的熱量；對于熱分布式熱質(zhì)量流量計，如果測量值受到管壁沉積垢層的影響，則必須定期清洗細(xì)管儀器更容易堵塞的缺點，一般不能使用；脈動流的使用將受到限制；液體熱式氣體質(zhì)量流量計也限制了粘性液體的使用。