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FF-40/25型儀器分子泵
產(chǎn)品特點:
國內(nèi)最小口徑分子泵;
緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計,便于集成,可以實現(xiàn)24VDC供電后分子泵直接運行;
低功耗、低振動、節(jié)能;
更高前級耐壓,適合分析儀器行業(yè);
可任意角度安裝
技術(shù)指標(biāo):
進氣口法蘭(ISO-KF) DN40 排氣口法蘭(ISO-KF) DN16
抽速速率(L/s) N2:22 He:18 H2:11 Ar:25 壓縮比 N2: 1E6 He:1E2 H2:1E2 Ar:1E6
極限壓強(Pa) 1E-4 最大連續(xù)前級壓強(Pa) 500
最大前級壓強(Pa) N2:1000 最大氣載量(sccm) N2:23 He:18 H2:12 Ar:28
額定轉(zhuǎn)速(RPM) 36000 啟動時間(min) ≤3
冷卻方式 風(fēng)冷 電源電壓(VAC) DC24/AC220
最大功率(W) 70 適配電源型號 TD-25/TCP-100/TC-100
建議前級泵(L/s) 0.5~1 重量(kg) 3
應(yīng)用領(lǐng)域:
硅刻蝕、玻璃鍍膜、PVD鍍膜、科研應(yīng)用、表面分析、加速器、太陽能、熱處理