Setra西特227表壓復(fù)合壓絕壓超高純壓力傳感器

　　Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式 “Block” 氣體棒和面板設(shè)計(jì)，能夠滿足如今 300 mm 工具的要求。該型號(hào)占用空間僅 11/8″，能節(jié)省寶貴的空間 ；結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，是要求長期穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測量應(yīng)用于·高純度氣體輸送系統(tǒng)半導(dǎo)體過程工具的理想選擇。

　　與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同， Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計(jì)。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至 5 Ra（大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實(shí)現(xiàn)無污染氣體輸送。227 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三種輸出類型，精度達(dá) ±0.25% FS 或 1.0% 讀數(shù)。該型號(hào)可選符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 11/8″帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力接口，另外還可使用多芯電纜、 4 針卡口接頭和 9 針或 15 針D-sub 接頭進(jìn)行電氣連接。與 328 型 11/8″旋轉(zhuǎn)顯示屏配合使用時(shí)， 227 型可實(shí)現(xiàn)理想的壓力測量和顯示。零點(diǎn)和量程調(diào)整裝置位于旋轉(zhuǎn)保護(hù)罩下方的側(cè)面。用戶還可選擇絕壓、表壓或復(fù)合壓測量范圍。

　　高性價(jià)比227 型壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技術(shù)，配有316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時(shí)，隔膜會(huì)變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并基于磚利的電荷平衡原理，通過 Setra 獨(dú)特的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號(hào)。Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳感技術(shù)制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號(hào)。

　　表壓、復(fù)合壓、絕壓可選PSI或BAR量程可選

　　Setra 的227型傳感器專用于當(dāng)今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block氣體棒和面板。227型1-1/8"的占地面積優(yōu)化了有價(jià)值的空間，其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使其非常適合那些要求長期穩(wěn)定性、高精度和對(duì)惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測量應(yīng)用。

　　與其它具有較大死端空泡體積的設(shè)計(jì)不同，227型具有一個(gè)方便洗滌的小排量傳感器艙。所有濕潤部件均為VAR316LSS材料，電解拋光至5Ra（10

　　max.）的終飾。每一個(gè)傳感器都經(jīng)質(zhì)譜儀進(jìn)行過高達(dá)的氦滲漏試驗(yàn)。可選擇5VDC、10VDC或4-20mA輸出，227型可提供±0.25%全量程或±1.0%的讀數(shù)精度。227型配備了一個(gè)節(jié)省空間的11/8"C型密封件下安裝接口底座，并可選擇多芯電纜、4針bayonet連接器和一個(gè)9針或15針D型連接器用于電氣終端。加上327型的1-1/8"可旋轉(zhuǎn)顯示器，該產(chǎn)品包達(dá)到了壓力測量及顯示的Ji致。該獨(dú)特設(shè)計(jì)包括在旋轉(zhuǎn)保護(hù)蓋下面的側(cè)接近至零點(diǎn)及范圍調(diào)節(jié)，可選擇絕隊(duì)壓、表壓或復(fù)合壓。

　　Setra 獲専利的可變電容傳感器的特點(diǎn)在于一個(gè)316L不銹鋼膜片和一個(gè)絕緣電Ji板。在傳感器主體和電Ji板之間形成一個(gè)可變電容器。壓力的增加致使膜片略微變圓，從而增加了電容。通過Setra 獨(dú)特的定制集成電路檢測電容值的變化，并利用獲専利的電荷平衡原理將其轉(zhuǎn)換成高度的線性DC電信號(hào)。

　　etra 的整個(gè)超高純系列均基于Setra 的被廣泛認(rèn)可的電容傳感技術(shù)，高度和

　　穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號(hào)基本上可抑制電磁干擾/射頻干擾（EMI/RFI）。

　　常用型號(hào)227G025PAE51106J,227G050PAE51106J,227G100PAE51106J,227G150PAE51106J，

　　227G250PAE51106J,227G1000PAE51106J,227G3000PAE51106J,227G1R7BAE51106J，

　　227G3R4BAE51106J,227G007BAE51106J,227G1017BAE51106J,227G035BAE51106J，

　　227G070BAE51106J,227G2500BAE51106J,227GZ01PCE51106J,227GZ02PCE51106J，

　　227GZ03PCE51106J,227GZ05PCE51106J,227G10CTAE51106J,227G20CTAE51106J，

　　227G025PAE51106F,227G050PAE51106F,227G100PAE51106F,227G150PAE51106F，

　　227G250PAE51106F,227G1000PAE51106F,227G3000PAE51106F,227G1R7BAE51106F

　　227G3R4BAE51106F,227G007BAE51106F,227G1017BAE51106F,227G035BAE51106F

　　227G070BAE51106F,227G2500BAE51106F,227GZ01PCE51106F,227GZ02PCE51106F

　　227GZ03PCE51106F,227GZ05PCE51106F,227G10CTAE51106F,227G20CTAE51106F

　　227型的技術(shù)規(guī)格