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凈化車間設(shè)計

 
 
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更新 2024-10-12 17:05
 

青島鴻帆凈化設(shè)備有限公司

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凈化車間設(shè)計


凈化車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。

每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的*。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。


凈化車間一般結(jié)構(gòu)材料:

1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造   

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。   

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。   

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。

溫度測試方法:

溫度測試是確認空氣處理設(shè)施的溫度控制能力,溫度測試應(yīng)在車間進行調(diào)試,氣流均勻性測試完成,并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運行24H以上后進行。車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于需嚴格控制溫度精度時或建設(shè)方要求在“靜態(tài)"或“動態(tài)"進行測試時應(yīng)用;一般溫度測試主要使用于“空態(tài)"時溫度測試。

  

凈化車間設(shè)計

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