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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司企業(yè)會(huì)員第2年
聯(lián)系電話(huà):15855982779
所在區(qū)域:
經(jīng)營(yíng)范圍:工程機(jī)械
企業(yè)信息未認(rèn)證
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品牌：維意真空
型號(hào)：wayes-KS
快速退火爐技術(shù)資料
??開(kāi)啟式RTP快速升溫退火爐是一款功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用國(guó)際先進(jìn)制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分離，爐體上下可以自由打開(kāi)，安全可靠。爐管采用內(nèi)管和外管套疊，通過(guò)內(nèi)管進(jìn)氣外管出氣使得通入的氣氛充分與樣品接觸，測(cè)溫?zé)犭娕贾苯雍褪⒎艠悠方佑|，保證樣品的溫度精準(zhǔn)。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，不僅能夠保持其能量的最低損耗，還能增強(qiáng)高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。并已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，該系統(tǒng)可滿(mǎn)足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)，以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。采用雙管設(shè)計(jì)，是制作石墨烯最好的方法，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，氣體和溫度及真空之間可以同步控制，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化工藝，觸摸屏操作，人機(jī)界面更智能更人性化。由于可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化控制，對(duì)于操作和實(shí)驗(yàn)的重復(fù)性會(huì)非常有幫助。
項(xiàng)目 | 主要技術(shù)指標(biāo) | 數(shù)據(jù) | |
規(guī)格型號(hào) ? | 額定溫度 | 1000℃ | |
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 | 100～1050℃ | ||
溫度測(cè)量精度 | ±0.2℃ | ||
溫度控制重復(fù)性 | ±1℃ | ||
溫度控制精確度 | ±1℃ | ||
最快升溫速率 | 200℃/S（可根據(jù)客戶(hù)需求定制） | ||
降溫速率 | 1～300，可以采用打開(kāi)爐體降溫或移除爐管降溫同時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)流量計(jì)閥控控制氣體冷卻,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)智能控制 | ||
溫度控制模式 | 智能模糊全閉環(huán)控制 | ||
觸摸屏 | 7"LCD?智能操作系統(tǒng) | ||
物理指標(biāo) | 最大功率（KW） | 15 | |
額定電壓 | AC380V 50HZ | ||
傳感器類(lèi)型 | K型 | ||
反應(yīng)腔室外徑尺寸 | Φ100×580 | ||
式樣有效空間 | 3'' | ||
抽氣端口尺寸 | KF25 | ||
供氣口尺寸 | Φ6mm雙卡套 | ||
冷卻方式 | 自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N(xiāo)2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） | ||
特色功能 | 爐膛移動(dòng) | 移動(dòng)速度可以設(shè)定，速度從5mm/min-1000mm/min連續(xù)可調(diào) | |
超壓保護(hù) | 支持彩屏設(shè)定超壓保護(hù)值。保證系統(tǒng)的安全可靠。超過(guò)設(shè)定壓力自動(dòng)關(guān)閉進(jìn)氣閥，打開(kāi)出氣閥 | ||
壓力恒定 | 支持系統(tǒng)設(shè)定恒定壓力值，系統(tǒng)自動(dòng)均衡壓力恒定范圍從5Pa-130Kpa | ||
疲勞試驗(yàn) | 系統(tǒng)支持老化試驗(yàn)，只需設(shè)置老化次數(shù)，系統(tǒng)安裝預(yù)設(shè)程序動(dòng)作 | ||
? | 自動(dòng)冷卻 | 程序運(yùn)行結(jié)束后，系統(tǒng)自動(dòng)啟動(dòng)通氣冷卻功能，直到達(dá)到預(yù)定溫度，系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)閉冷卻功能。 | |
? | 可以根據(jù)客戶(hù)需求定制 |
