品牌：丹瑞

型號：干式真空泵

　　使用適當(dāng)型號的干式真空泵解決了原有機械機械真空泵無法解決的兩大問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護成本。

　　二是由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。我公司產(chǎn)品型號齊全，大致可分為：

　　1、雙圓裂片式。其設(shè)計和目前最流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實上，一些最早期的干泵設(shè)計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設(shè)計使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達(dá)到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

　　2、內(nèi)部壓縮型螺桿式。除了使用一對非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計和外部壓縮型螺桿式設(shè)計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。

　　3、組合式(羅茨+爪)。設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計完全相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設(shè)計，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

　　4、三葉圓裂片式。此種干式真空泵設(shè)計和雙圓裂片式設(shè)計的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達(dá)，但這也會導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設(shè)計一樣，三葉圓裂片式設(shè)計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

　　5、外部壓縮型螺桿式。使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小，同時使得氣體通路最短也最簡單。這樣，氣體在干式真空泵體內(nèi)停留的時間也最短。雖然這種設(shè)計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

　　隨著干式真空泵應(yīng)用領(lǐng)域的擴大，類型合適才能滿足應(yīng)用需求，起到不同的作用，希望您能選到自己滿意的產(chǎn)品。干式真空泵更多的信息，如價格、參數(shù)等可通過網(wǎng)站繼續(xù)了解。

　　聯(lián)系人：王經(jīng)理

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