品牌：TMC

型號：STACIS? III

STACIS?III是zui 先 jin的主動振動隔離系統(tǒng)。采用先進(jìn)的慣性振動傳感器，復(fù)雜的控制算法，和zui 先 jin的壓電致動器。STACIS通過連續(xù)測量地板活動、擴(kuò)大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進(jìn)行實時隔離振動。

最初被設(shè)計用于先進(jìn)半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設(shè)備的隔振，STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不局限于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。

STACIS III包括一個新型改進(jìn)的數(shù)字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型雙核處理器，以太網(wǎng)和USB串口，這個新型先進(jìn)控制系統(tǒng)為用戶提供了一個現(xiàn)代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。

擁有在世界各地的數(shù)百個成功安裝案例，STACIS對于大部分振動敏感儀器來說都是zui 理 xiang的振動消除系統(tǒng)。