烘箱干燥的空氣速度與空氣溫度干燥速率主要由空氣撞擊涂層的表面速度及撞擊涂層空氣的溫度決定。為了做到均勻干燥，就要做到均勻送風(fēng)與均勻的溫度場。在理想情況下，要求空氣從噴孔噴射到涂層上，能夠與相鄰的噴孔噴射到涂層上的空氣相互重合，并且噴射到涂層上的空氣速度均勻，溫度場均勻。為了實現(xiàn)這一目標(biāo)，必須對互感器進(jìn)行出廠例行試驗，確保其符合國家標(biāo)準(zhǔn)，實驗員加蓋公章準(zhǔn)予出廠。

一般情況下，噴孔形式有圓形噴孔、長方形噴孔及狹縫形噴孔。采用哪種噴孔形式效率較高，本人認(rèn)為只要系統(tǒng)設(shè)計正確，都可采用，實際上這些噴孔系統(tǒng)都普遍地和成功地用在各種不同的產(chǎn)品上。對于特定的工藝，其噴孔的形式，噴孔的布置方法，噴孔的空氣速度及空氣溫度，一般都要經(jīng)過試驗來確定其參數(shù)，包括噴孔的開口大小、距紙面的距離、排列位置的間隔及合理的回風(fēng)道等，以滿足均勻干燥的要求。

烘箱外殼一般采用薄鋼板制造，表面烤漆，工作室采用優(yōu)質(zhì)的結(jié)構(gòu)鋼板制造。隧道烘箱的干燥特點(diǎn)包括快速隧道于燥室產(chǎn)量高，投資低，大力推廣經(jīng)濟(jì)上可行；對高敏感性原料進(jìn)行瘠化處理，降低干燥收縮和干燥敏感系數(shù)，實現(xiàn)快速干燥技術(shù)上是可行的；適當(dāng)提高送風(fēng)溫度、濕度和空氣速度，蒸汽加熱原料有利于提高干燥速度，縮短干燥時間；把握好干燥各個階段，找準(zhǔn)干燥臨界點(diǎn)，加速坯體干燥內(nèi)擴(kuò)散和外擴(kuò)散，是實現(xiàn)快速干燥的主要途徑之一；建議在設(shè)計和建造快速隧道干燥室時，應(yīng)對原料進(jìn)行干燥性能試驗。

烘箱選型依據(jù)及理由包括：因為烘箱用在光刻工藝，所以對其的潔凈度要求比較高，同時用于膜的固化等工藝，保持片內(nèi)的均勻性、溫控系統(tǒng)也是要求較高。烘箱的生產(chǎn)廠家國內(nèi)和國外都比較多，用途也是多元化的，從價格角度考慮，則把國內(nèi)生產(chǎn)的烘箱放在首位，因為不論是售后服務(wù)還是備件購買都會相對容易一些，價格很低很多。但光刻工藝中要求嚴(yán)格控制烘箱產(chǎn)生的顆粒度。

真空烘箱使用流程包括：將物料均勻放入真空烘箱附帶的烘箱內(nèi)，將烘盤插入烘架車中，推入干燥箱內(nèi)。