IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)絕緣柵雙極晶體管是由BJT (bipolar transistor)和MOS(Insulated Gate field effect Transistor)組成的復(fù)合型全控壓驅(qū)動(dòng)功率半導(dǎo)體器件,具有MOSFET輸入阻抗高、GTR導(dǎo)通壓降低的優(yōu)點(diǎn)。GTR飽和電壓降低,載流密度高,但驅(qū)動(dòng)電流大;MOSFET的驅(qū)動(dòng)功率很小,開關(guān)速度快,但導(dǎo)通壓降大,載流密度小。
IGBT結(jié)合了上述兩種器件的優(yōu)點(diǎn),具有低驅(qū)動(dòng)功率和低飽和電壓。非常適用于DC電壓600V及以上的變流系統(tǒng),如交流電機(jī)、變頻器、開關(guān)電源、照明電路、牽引傳動(dòng)等領(lǐng)域。
存在在IGBT大力發(fā)展之前,功率場(chǎng)效應(yīng)晶體管MOSFET用于需要快速開關(guān)的中低壓場(chǎng)合,晶閘管和GTO用于中高壓領(lǐng)域。雖然MOSFET具有開關(guān)速度快、輸入阻抗高、熱穩(wěn)定性好、驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn);但在200V或更高電壓的情況下,MOSFET的導(dǎo)通電阻會(huì)隨著擊穿電壓的增加而迅速增加,使得其功耗大大增加,存在無法獲得高耐壓和大容量元件等缺陷。雙極晶體管具有低正向?qū)▔航档膬?yōu)良特性。雖然可以獲得耐壓高、容量大的元件,但需要驅(qū)動(dòng)電流大、控制電路復(fù)雜、開關(guān)速度低。
IGBT就是為了滿足這一要求而開發(fā)的。它是由MOSFET(輸入級(jí))和PNP晶體管(輸出級(jí))組成的器件。具有MOSFET驅(qū)動(dòng)功率低,開關(guān)速度(控制和響應(yīng))快,雙極器件容量大(功率級(jí)耐用)的特點(diǎn)。其頻率特性介于MOSFET和功率晶體管之間,可以在幾十KHz的頻率范圍內(nèi)正常工作?;谶@些優(yōu)異的特性,IGBT在電壓超過300V V的應(yīng)用中得到了廣泛的應(yīng)用,模塊化IGBT可以滿足更高的電流傳導(dǎo)要求,應(yīng)用領(lǐng)域也在不斷完善,未來會(huì)有更大的發(fā)展。
IGBT的結(jié)構(gòu)和特點(diǎn);
畫圖1示出了N溝道增強(qiáng)型絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu)。N+區(qū)稱為源區(qū),附著其上的電極稱為源極(即發(fā)射極e)。n的基極稱為漏區(qū)。器件的控制區(qū)是柵極區(qū),附著在其上的電極稱為柵極(即柵極G)。溝道形成在柵極區(qū)域的邊界附近。
存在C和E之間的P型區(qū)(包括形成溝道的P+和P-區(qū))稱為子溝道區(qū)。漏區(qū)另一側(cè)的P+區(qū)稱為漏注入?yún)^(qū),是IGBT特有的功能區(qū)。它與漏極區(qū)和子溝道區(qū)一起構(gòu)成PNP雙極晶體管,作為發(fā)射極,向漏極注入空穴并進(jìn)行導(dǎo)電調(diào)制,以降低器件的通態(tài)電壓。附著于漏極注入?yún)^(qū)的電極稱為漏極(即集電極C)。
IGBT的開關(guān)作用是通過加正向柵壓形成溝道,為PNP(原NPN)晶體管提供基極電流,使IGBT導(dǎo)通。相反,增加反向柵極電壓以消除溝道,切斷基極電流并關(guān)閉IGBT。
IGBT的驅(qū)動(dòng)方式與MOSFET基本相同,只需要控制輸入N溝道MOSFET,因此具有高輸入阻抗特性。當(dāng)MOSFET的溝道形成后,從P+基極注入到N層的空穴(少數(shù)載流子)中,調(diào)制N層的電導(dǎo),降低N層的電阻,使IGBT在高電壓下具有較低的通態(tài)電壓。
IGBT是一種結(jié)合了MOSFET和GTR技術(shù)的復(fù)合開關(guān)器件。它是在功率MOSFET的漏極上加一層p+層形成的,在性能上也結(jié)合了MOSFET和雙極功率晶體管的優(yōu)點(diǎn)。N+區(qū)稱為源區(qū),附著其上的電極稱為源極(即發(fā)射極e);P+區(qū)稱為漏區(qū),器件的控制區(qū)為柵區(qū),附著其上的電極稱為柵極(即柵極G)。
溝道形成在柵極區(qū)域的邊界附近。存在C極和E極之間(形成溝道的地方)的P型區(qū)(包括P+和P-區(qū))稱為子溝道區(qū)。漏區(qū)另一側(cè)的P+區(qū)稱為漏注入?yún)^(qū),是IGBT特有的功能區(qū)。它與漏極區(qū)和子溝道區(qū)一起構(gòu)成PNP雙極晶體管,作為發(fā)射極,向漏極注入空穴,進(jìn)行導(dǎo)電調(diào)制,降低器件的通態(tài)壓降。附著于漏極注入?yún)^(qū)的電極稱為漏極(即集電極C)。
IGBT由一個(gè)N溝道MOSFET和一個(gè)PNP GTR組成,實(shí)際上是一個(gè)以GTR為主導(dǎo)元件,MOSFET為驅(qū)動(dòng)元件的復(fù)合管。除了PNP晶體管結(jié)構(gòu),IGBT還有NPN晶體管結(jié)構(gòu),通過將其基極和發(fā)射極連接到MOSFET的源極金屬端來關(guān)斷。
IGBT的四層PNPN結(jié)構(gòu)包含PNP和NPN晶體管形成SCR結(jié)構(gòu),這可能引起IGBT的柱提升效應(yīng)。與MOSFET不同,IGBT沒有寄生反向二極管,所以在實(shí)際使用中(感性負(fù)載)需要配備合適的快恢復(fù)二極管。
IGBT的理想等效電路和實(shí)際等效電路如下圖所示:
通過等效電路可以IGBT是由PNP雙極晶體管和功率MOSFET之間的達(dá)林頓連接形成的單片Bi-MOS晶體管。
因此,在大門口-當(dāng)在發(fā)射極之間施加正電壓以導(dǎo)通功率MOSFET時(shí),PNP晶體管的基極-集電極與低電阻連接,從而PNP晶體管處于導(dǎo)通狀態(tài)。因?yàn)槁O增加了p+層,所以在導(dǎo)通狀態(tài)下,空穴從p+層注入到N基極,這導(dǎo)致了導(dǎo)電性的轉(zhuǎn)變。因此,與功率MOSFET相比,它可以獲得非常低的導(dǎo)通電阻
此后,制作柵極-發(fā)射極間電壓為0V時(shí),首先功率MOSFET處于開路狀態(tài),PNP晶體管的基極電流被切斷,從而處于開路狀態(tài)。
如上所述,像功率MOSFET一樣,IGBT可以通過電壓信號(hào)控制開關(guān)動(dòng)作。
IGBT的工作特點(diǎn):
1.靜態(tài)特性
IGBT的靜態(tài)特性主要包括伏安特性、傳遞特性和開關(guān)特性。
IGBT的伏安特性是指以柵源電壓Ugs為參數(shù)變量時(shí),漏電流與柵電壓的關(guān)系曲線。輸出漏電流比由柵源電壓Ugs控制,Ugs越高,Id越大。類似于GTR的輸出特性,也可以分為三個(gè)部分:飽和區(qū)1、放大區(qū)2和擊穿特性。
在切斷狀態(tài)下IGBT和直流電壓由J2結(jié)承擔(dān),反向電壓由J1結(jié)承擔(dān)。如果沒有N+緩沖,正向和反向阻斷電壓可以是一個(gè)級(jí)別,而加入N+緩沖后,反向關(guān)斷電壓只能達(dá)到幾十伏,從而限制了IGBT的一些應(yīng)用范圍。
IGBT的轉(zhuǎn)移特性指的是輸出漏極電流Id和柵源電壓Ugs之間的關(guān)系曲線。它具有與MOSFET相同的傳輸特性。當(dāng)柵源電壓小于導(dǎo)通電壓Ugs(th)時(shí),IGBT處于截止?fàn)顟B(tài)。在IGBT開啟后的大部分漏極電流范圍內(nèi),Id和Ugs之間的關(guān)系是線性的。柵源電壓受漏電流限制,其值一般在15V左右。
IGBT的開關(guān)特性指的是漏電流和漏源電壓之間的關(guān)系。IGBT導(dǎo)通時(shí),其PNP晶體管為寬基極晶體管,因此B值極低。雖然等效電路是達(dá)林頓結(jié)構(gòu),但流過MOSFET的電流成為IGBT總電流的主要部分。此時(shí),導(dǎo)通狀態(tài)電壓Uds(on)可以由下面的公式表示:
Uds(on) = Uj1 + Udr + IdRoh
公式uj1——Ji結(jié)的直流電壓,取值為0.7 ~ 1Vudr-擴(kuò)展電阻Rdr兩端的電壓降;Roh通道電阻。
導(dǎo)通電流id可以用下面的公式表示:
Ids=(1+Bpnp)Imos
公式imos-流經(jīng)MOSFET的電流。
因?yàn)?/strong>N+區(qū)存在電導(dǎo)調(diào)制效應(yīng),所以IGBT的通態(tài)壓降較小,耐壓1000V的IGBT的通態(tài)壓降為2 ~ 3 V..當(dāng)IGBT斷開時(shí),只有很小的漏電流存在。
1動(dòng)態(tài)特征
在IGBT的導(dǎo)通過程中,IGBT大部分時(shí)間作為MOSFET工作,但在漏源電壓Uds下降的后期,PNP晶體管從放大區(qū)變?yōu)轱柡停@又增加了一個(gè)延遲時(shí)間。Td(on)是開啟延遲時(shí)間,tri是電流上升時(shí)間。在實(shí)際應(yīng)用中,漏電流導(dǎo)通時(shí)間ton是td (on) tri之和。漏源電壓的下降時(shí)間由tfe1和tfe2組成。
IGBT的觸發(fā)和關(guān)斷需要在其柵極和基極之間加上直流電壓和負(fù)電壓,柵極電壓可以由不同的驅(qū)動(dòng)電路產(chǎn)生。在選擇這些驅(qū)動(dòng)電路時(shí),必須基于以下參數(shù):器件關(guān)斷偏置的要求、柵極電荷的要求、固體電阻的要求和電源的情況。由于IGBT的柵發(fā)射極阻抗較大,可以用MOSFET驅(qū)動(dòng)技術(shù)觸發(fā),但由于IGBT的輸入電容大于MOSFET,所以IGBT的關(guān)斷偏置應(yīng)該高于很多MOSFET驅(qū)動(dòng)電路提供的關(guān)斷偏置。
IGBT的開關(guān)速度低于MOSFET,但明顯高于GTR。IGBT關(guān)斷時(shí),不需要負(fù)柵壓來減少關(guān)斷時(shí)間,但關(guān)斷時(shí)間隨著柵發(fā)射極并聯(lián)電阻的增加而增加。IGBT的導(dǎo)通電壓約為3 ~ 4 V,與MOSFET相當(dāng)。IGBT導(dǎo)通時(shí),飽和壓降低于MOSFET,接近GTR,飽和壓降隨柵壓的增加而減小。
IGBT的工作原理:
IGBT是垂直功率MOSFET的自然演變,適用于大電流、高電壓應(yīng)用和快速終端設(shè)備。因?yàn)樾枰礃O-漏極溝道來實(shí)現(xiàn)更高的擊穿電壓BVDSS,但是該溝道具有高電阻率,這導(dǎo)致功率MOSFET具有高RDS(on)值。IGBT消除了現(xiàn)有功率MOSFET的這些主要缺點(diǎn)。
雖然一代異能者MOSFET器件極大地改善了RDS(on)特性,但在高電平下,功率導(dǎo)通損耗仍遠(yuǎn)高于IGBT技術(shù)。與標(biāo)準(zhǔn)雙極性器件相比,更低的壓降、轉(zhuǎn)換為低VCE(sat)的能力以及IGBT的結(jié)構(gòu)可以支持更高的電流密度,并簡(jiǎn)化IGBT驅(qū)動(dòng)器的原理圖。
N溝道IGBT通過在柵極和發(fā)射極之間施加高于閾值電壓VTH的(正)電壓,在柵極電極正下方的P層上形成反型層(溝道),并開始從發(fā)射極電極下方的N層注入電子來工作。這個(gè)電子是p+n-p晶體管的少數(shù)載流子,它從集電極襯底的p+層流入空穴進(jìn)行電導(dǎo)率調(diào)制(雙極操作),因此可以降低集電極和發(fā)射極之間的飽和電壓。
工作時(shí)的等效電路如圖所示。1(b),IGBT的符號(hào)如圖1(c)所示。在發(fā)射極電極側(cè)形成n+pn寄生晶體管。如果n+pn寄生晶體管工作,它就成為一個(gè)p+n- pn+晶閘管。電流繼續(xù)流動(dòng),直到輸出端停止提供電流。不再可能通過輸出信號(hào)進(jìn)行控制。這種狀態(tài)通常被稱為鎖定狀態(tài)。
為了壓制n+pn寄生晶體管IGBT的工作采用盡可能降低p+n-p晶體管電流放大系數(shù)α的措施來解決閂鎖問題。具體地,p+n-p的電流放大系數(shù)α被設(shè)計(jì)為0.5或更小。IGBT的阻斷電流IL是額定電流(DC)的3倍以上。IGBT的驅(qū)動(dòng)原理與功率MOSFET基本相同,開關(guān)由柵發(fā)射極電壓uGE決定。
導(dǎo)通
IGBT硅片的結(jié)構(gòu)與功率MOSFET非常相似。主要區(qū)別是IGBT增加了一個(gè)P+襯底和一個(gè)N+緩沖層(這部分在NPT-非穿通IGBT技術(shù)中是沒有增加的),其中一個(gè)MOSFET驅(qū)動(dòng)兩個(gè)雙極器件。襯底的應(yīng)用在管的P+和N+區(qū)域之間產(chǎn)生了J1結(jié)。
當(dāng)正柵極偏壓反轉(zhuǎn)柵極底部時(shí)在P-基極區(qū)域中,形成N-溝道,同時(shí)出現(xiàn)電子流,并且完全以功率MOSFET的方式產(chǎn)生電流。如果這種電子流產(chǎn)生的電壓在0.7V的范圍內(nèi),那么J1將處于正向偏置,一些空穴將被注入N區(qū),陽極和陰極之間的電阻率將被調(diào)節(jié),這降低了功率傳導(dǎo)的總損耗,并開始第二次電荷流。
因此,在半導(dǎo)體層面暫時(shí)出現(xiàn)了兩種不同的電流拓?fù)?電子流。(MOSFET電流);空穴電流(雙極性)。當(dāng)uGE大于導(dǎo)通電壓UGE(th)時(shí),MOSFET中形成一個(gè)溝道為晶體管提供基極電流,IGBT導(dǎo)通。
開啟電壓降
電導(dǎo)率調(diào)制效應(yīng)使得電阻RN降低,使通態(tài)壓降變小。
栓
當(dāng)向柵極施加負(fù)偏置電壓或者柵極電壓低于閾值時(shí),溝道被禁止,并且沒有空穴注入。在z-地區(qū)。在任何情況下,如果MOSFET電流在開關(guān)階段迅速下降,集電極電流將逐漸降低,因?yàn)樵趽Q向開始后,N層中仍有少數(shù)載流子(少數(shù)載流子)。
這個(gè)剩余電流值(尾流)的減小完全取決于關(guān)斷時(shí)的電荷密度,而密度與幾個(gè)因素有關(guān),比如摻雜劑的量和拓?fù)?、層厚和溫度。少?shù)載流子的衰減使得集電極電流具有特征性的尾波波形,造成以下問題:功耗增加;交叉?zhèn)鲗?dǎo)的問題更加明顯,尤其是在使用續(xù)流二極管的設(shè)備中。
因?yàn)槲擦髋c少數(shù)載流子復(fù)合有關(guān),所以尾流的電流值應(yīng)該與芯片的溫度有關(guān)。集成電路的空穴遷移率與VCE密切相關(guān)。因此,根據(jù)達(dá)到的溫度,減少電流作用在終端設(shè)備設(shè)計(jì)上的不良影響是可行的,尾流特性與VCE、IC和TC有關(guān)。
當(dāng)在柵極和發(fā)射極之間施加背壓或者沒有施加信號(hào)時(shí),MOSFET中的溝道消失,晶體管的基極電流被切斷,IGBT關(guān)閉。
反向阻斷
當(dāng)反向電壓施加到集電極時(shí),J1將由反向偏置控制,耗盡層將擴(kuò)展到N區(qū)。因?yàn)檫@一層的厚度減少太多,將不會(huì)獲得有效的阻擋能力,所以這一機(jī)制非常重要。另一方面,如果該區(qū)域的尺寸過度增加,壓降將持續(xù)增加。
正向阻斷
當(dāng)柵極和發(fā)射極短路并且向集電極端子施加正電壓時(shí),P/NJ3結(jié)由反向電壓控制。此時(shí),承受外加電壓的仍然是N漂移區(qū)中的耗盡層。
門閂
IGBT在集電極和發(fā)射極之間有一個(gè)寄生的PNPN晶閘管。在特殊情況下,這個(gè)寄生裝置會(huì)開啟。這種現(xiàn)象會(huì)增加集電極和發(fā)射極之間的電流,降低等效MOSFET的控制能力,通常會(huì)造成器件擊穿。晶閘管導(dǎo)通現(xiàn)象被稱為IGBT閉鎖。具體來說,這種缺陷的原因各不相同,并且與設(shè)備的狀態(tài)密切相關(guān)。一般來說,靜態(tài)和動(dòng)態(tài)閂鎖有以下主要區(qū)別:
動(dòng)態(tài)閂鎖僅在斷電時(shí)發(fā)生。這種特殊現(xiàn)象嚴(yán)重限制了安全操作區(qū)域。
為了防止寄生現(xiàn)象對(duì)于NPN和PNP晶體管的有害現(xiàn)象,需要采取以下措施:一是防止NPN部分導(dǎo)通,分別改變布局和摻雜水平;第二是降低NPN和PNP晶體管的總電流增益。
此外,鎖存電流對(duì)PNP和NPN器件的電流增益有一定影響,因此也與結(jié)溫密切相關(guān)。隨著結(jié)溫和增益的增加,P基區(qū)的電阻率會(huì)增加,破壞整體特性。因此,器件制造商必須注意保持集電極電流和閂鎖電流之間的一定比例,通常為1: 5。
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