隨著技術(shù)的日益進步，特別是近年來引入微機技術(shù)后，采用X射線鍍層測厚儀 向微型、智能、多功能、高精度、實用化的方向進了一步。測量的分辨率已達(dá)0.1微米，精度可達(dá)到1%，有了大幅度的提高。它適用范圍廣，量程寬、操作簡便且價廉，是工業(yè)和科研使用廣泛的測厚儀器。

　　Ux-720微動平臺

　　載物測試平臺，微調(diào)裝置在儀器右側(cè)，通過旋轉(zhuǎn)按鈕來調(diào)節(jié)樣品的移動，移動范圍為X軸和Y軸各15mm。結(jié)合260萬像素的高清CCD，對測試樣品進行定位，防止樣品放置好后關(guān)閉樣品蓋產(chǎn)生振動而使測試位置發(fā)生變化導(dǎo)致測試不準(zhǔn)確。

　　Ux-720 儀器技術(shù)指標(biāo)

　　1、分析元素范圍：Na-U

　　2、檢測成分范圍：1ppm-99.99%

　　3、檢測厚度：1nm

　　4、檢測厚度上限，30 - 50um（視材料而定）

　　5、檢測鍍層層數(shù)：1-10層

　　6、測量時間 ：30-150s ( 系統(tǒng)自動調(diào)整 )

　　7、分辨率：145±5eV

　　8、準(zhǔn)直器：Φ0.5mm、Φ1mm、Φ2mm、Φ4mm自動切換

　　9、濾光片：5種濾光片自動切換

　　10、CCD觀察：260萬像素高清CCD

　　11、樣品微動范圍：XY15mm

　　12、儀器尺寸：680(W)x400(D)x390(H)mm

　　13、樣品腔尺寸：300*360*100mm；

　　14、輸入電源：AC220V～240V，50/60Hz

　　15、額定功率：350W

　　16、重量：約45Kg

　　17、工作環(huán)境溫度：溫度15—30℃

　　18、工作環(huán)境相對濕度：≤85%（不結(jié)露）

　　19、穩(wěn)定性:多次測量重復(fù)性誤差小于0.1%

　　Ux-720探測系統(tǒng)

　　功能：對樣品特征X射線進行探測，將采集來的信號進行數(shù)據(jù)處理，并將處理結(jié)果傳輸給計算機。

　　類型：Si-PIN X-123(美國原裝進口)

　　Be窗???：1mil(0.0254mm)

　　分辨率：145±5eV

　　系統(tǒng)峰背比：≥ 6200/1

　　能量響應(yīng)范圍：1keV — 40keV

　　推薦計數(shù)率：5000cps