等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；

　　在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面．以達(dá)到清洗目的．

　　真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：

　　1、超大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC 觸摸屏控制系統(tǒng)，的控制設(shè)備運(yùn)行。

　　2、可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求。

　　3、保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制。

　　4、高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和的技術(shù)支持。

　　5、真空等離子清洗機(jī)的原理表面活化增強(qiáng)附著力主要適用于生物醫(yī)療行業(yè)，印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

　　真空等離子清洗機(jī)的原理表面活化增強(qiáng)附著力包括一個反應(yīng)腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應(yīng)腔室內(nèi)，真空泵開始抽氣至一定的真空度，電源啟動便產(chǎn)生等離子體，然后氣體通入到反應(yīng)腔室，使腔室中的等離子體變成反應(yīng)等離子體，這些等離子體與樣品表面發(fā)生反應(yīng)，生產(chǎn)可揮發(fā)的副產(chǎn)物，并由真空泵抽出。利用等離子高能粒子與材料表面發(fā)生物理和化學(xué)反應(yīng)，可以實(shí)現(xiàn)對材料表面進(jìn)行激活、蝕刻、除污等工藝處理，以及對材料的摩擦因數(shù)、粘合和親水等各種表面性能進(jìn)行改良的目的。