隨著科技的發(fā)展,特別是近年來微機技術(shù)的引入,X射線涂層測厚儀的使用向著小型化、智能化、多功能、高精度和實用化邁進了一步。測量的分辨率達到了0.1微米,精度可以達到1%,有了很大的提高。由于其應(yīng)用范圍廣、測量范圍寬、操作簡單、價格低廉,在工業(yè)和科研中得到廣泛應(yīng)用。
Ux-720高分辨率CCD
260萬像素的高清CCD攝像機可以有效地實時觀察測試區(qū)域的情況,并拍攝材料的照片,作為測試報告的一部分。
Ux-720檢測系統(tǒng)
功能:檢測樣品的特征X射線,對采集的信號進行處理,并將處理結(jié)果傳送給計算機。
型號:Si-PIN X-123(美國進口)
是窗戶嗎???:1毫米(0.0254毫米)
分辨率:145±5eV
系統(tǒng)峰背比:≥ 6200/1
能量響應(yīng)范圍:1千電子伏-40千電子伏
推薦計數(shù)率:5000cps
Ux-720儀器技術(shù)指標
1.分析元素范圍:Na-U
2.檢測范圍:1ppm-99.99%
3.檢測厚度:1納米
4.檢測厚度上限,30-50um(取決于材料)
5.檢測涂層數(shù)量:1-10。
6.測量時間:30-150秒(系統(tǒng)自動調(diào)整)
7.分辨率:145±5eV
8.準直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自動切換。
9.濾光片:五種濾光片自動切換。
10.CCD觀察:260萬像素高清CCD。
11.樣品微動范圍:XY15mm。
12.儀器尺寸:680(寬)x400(深)x390(高)毫米
13.樣品腔尺寸:300 * 360 * 100mm
14.輸入電源:AC220V~240V,50/60Hz。
15.額定功率:350W
16.重量:約45Kg
17.工作環(huán)境溫度:15-30℃。
18.工作環(huán)境相對濕度:≤85%(無凝露)
19.穩(wěn)定性:重復(fù)測量誤差小于0.1%。