真空等離子清洗機(jī)
1.對(duì)材料表面的蝕刻作用-物理作用:
等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面,不僅去除了表面原有的污染物和雜質(zhì),還產(chǎn)生刻蝕,使樣品表面變得粗糙,形成許多微小的凹坑,增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤(rùn)濕性。
2、活化鍵能,交聯(lián):
等離子體中粒子的能量為0~20eV,而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此,等離子體作用于固體表面后,可以打破固體表面原有的化學(xué)鍵,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀交聯(lián)結(jié)構(gòu),極大地激活了表面活性。
3、新官能團(tuán)的形成——化學(xué)作用:
如果在放電氣體中引入活性氣體,在活性材料的表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),產(chǎn)生新的官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等。,它們能明顯提高材料的表面活性。
等離子清洗機(jī)就是利用這些活性成分的特性來(lái)處理樣品表面,從而達(dá)到清洗和鍍膜的目的。
等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三部分,即控制單元、真空室和真空泵。
首先,控制單元
國(guó)內(nèi)使用的等離子清洗機(jī),包括進(jìn)口的,有四種控制方式:半自動(dòng)控制、全自動(dòng)控制、PC電腦控制和LCD觸摸屏控制。
控制單元分為兩部分:
1)電源:主要電源頻率有三種,分別是40KHz、13.56MHz和2.45GHz,其中13.56MHz需要電源匹配器。
2)系統(tǒng)控制單元:分為按鈕控制(半自動(dòng)、全自動(dòng))、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)三種。
二、真空室:
真空室主要分為兩種材料:
1)不銹鋼真空室。
2)應(yīng)時(shí)腔。
三、真空泵:
真空泵分為兩種類型:
1)干式泵。
2)油泵。
真空等離子清洗機(jī)表面活化增強(qiáng)附著力的原理包括反應(yīng)室、電源和真空泵組。當(dāng)樣品放入反應(yīng)室后,真空泵開(kāi)始抽空氣到一定的真空度,啟動(dòng)電源產(chǎn)生等離子體,然后向反應(yīng)室內(nèi)通入氣體,使室內(nèi)的等離子體變成反應(yīng)等離子體,與樣品表面反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物,由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學(xué)反應(yīng),可用于材料表面的活化、刻蝕和去污,提高材料的摩擦系數(shù)、附著力和親水性。