Ux-720儀器技術(shù)指標(biāo)
1.分析元素范圍:Na-U
2.檢測范圍:1ppm-99.99%
3.檢測厚度:1納米
4.檢測厚度上限,30-50um(取決于材料)
5.檢測涂層數(shù)量:1-10。
6.測量時(shí)間:30-150秒(系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整)
7.分辨率:145±5eV
8.準(zhǔn)直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自動(dòng)切換。
9.濾光片:五種濾光片自動(dòng)切換。
10.CCD觀察:260萬像素高清CCD。
11.樣品微動(dòng)范圍:XY15mm。
12.儀器尺寸:680(寬)x400(深)x390(高)毫米
13.樣品腔尺寸:300 * 360 * 100mm
14.輸入電源:AC220V~240V,50/60Hz。
15.額定功率:350W
16.重量:約45Kg
17.工作環(huán)境溫度:15-30℃。
18.工作環(huán)境相對(duì)濕度:≤85%(無凝露)
19.穩(wěn)定性:重復(fù)測量誤差小于0.1%。
Ux-720高分辨率CCD
260萬像素的高清CCD攝像機(jī)可以有效地實(shí)時(shí)觀察測試區(qū)域的情況,并拍攝材料的照片,作為測試報(bào)告的一部分。
x射線和β射線法為非接觸式無損測量,測量范圍小。x射線法可以測量極薄的涂層、雙層涂層和合金涂層。β射線法適用于原子序數(shù)大于3的涂層和鍍層的測量。電容法僅在測量薄導(dǎo)體的絕緣涂層厚度時(shí)使用。
涂層厚度測量已成為加工工業(yè)和表面工程質(zhì)量檢驗(yàn)的重要組成部分,是產(chǎn)品達(dá)到優(yōu)良質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的必要手段。為使產(chǎn)品國際化,我國出口商品和涉外項(xiàng)目中對(duì)涂層厚度有明確要求。