涂層厚度的測量方法主要有:楔形切割法、光切法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射線熒光法、β射線背散射法、電容法、磁性測量法和渦流測量法。這些方法的前五種都是破壞性檢測，比較繁瑣，速度慢，大多適合抽樣檢驗。

　　Ux-720儀器技術指標

　　1.分析元素范圍:Na-U

　　2.檢測范圍:1ppm-99.99%

　　3.檢測厚度:1納米

　　4.檢測厚度上限，30-50um(取決于材料)

　　5.檢測涂層數量:1-10。

　　6.測量時間:30-150秒(系統(tǒng)自動調整)

　　7.分辨率:145±5eV

　　8.準直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自動切換。

　　9.濾光片:五種濾光片自動切換。

　　10.CCD觀察:260萬像素高清CCD。

　　11.樣品微動范圍:XY15mm。

　　12.儀器尺寸:680(寬)x400(深)x390(高)毫米

　　13.樣品腔尺寸:300 * 360 * 100mm

　　14.輸入電源:AC220V~240V，50/60Hz。

　　15.額定功率:350W

　　16.重量:約45Kg

　　17.工作環(huán)境溫度:15-30℃。

　　18.工作環(huán)境相對濕度:≤85%(無凝露)

　　19.穩(wěn)定性:重復測量誤差小于0.1%。

　　Ux-720儀器標配設備參數。

　　1.計算機

　　CPU:英特爾雙核內存:2G

　　硬盤:500G顯示器:19英寸

　　2.噴墨式打印機

　　彩色噴墨打印機

　　3、儀器附件及技術數據

　　50片測試膠片

　　五個保險管

　　保修卡。

　　批準證書

　　儀器操作手冊

　　輻射安全檢查報告

　　Ux-720檢測系統(tǒng)

　　功能:檢測樣品的特征X射線，對采集的信號進行處理，并將處理結果傳送給計算機。

　　型號:Si-PIN X-123(美國進口)

　　是窗戶嗎？？？:1毫米(0.0254毫米)

　　分辨率:145±5eV

　　系統(tǒng)峰背比:≥ 6200/1

　　能量響應范圍:1千電子伏-40千電子伏

　　推薦計數率:5000cps