避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶劑，這樣清洗后就不會產(chǎn)生有害的污染物，所以這種清洗方法屬于環(huán)保綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)境保護(hù)的情況下越來越重要；

　　等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)。通常情況下，物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在某些特殊情況下會出現(xiàn)第四種狀態(tài)，比如地球大氣層中電離層中的物質(zhì)。

　　無線電波范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強(qiáng)，可以深入到物體的微孔和凹陷處完成清潔任務(wù)，所以不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗相似甚至更好；

　　等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質(zhì)狀態(tài)，也叫物質(zhì)第四態(tài)。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團(tuán)、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質(zhì)對樣品表面進(jìn)行處理，從而達(dá)到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。