處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種:高速運動的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(自由基)；離子化的原子和分子；未反應的分子、原子等。，但該物質(zhì)整體上保持電中性。

　　真空等離子清洗機

　　1.對材料表面的蝕刻作用-物理作用:

　　等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，還產(chǎn)生刻蝕，使樣品表面變得粗糙，形成許多微小的凹坑，增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤濕性。

　　2、活化鍵能，交聯(lián):

　　等離子體中粒子的能量為0~20eV，而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此，等離子體作用于固體表面后，可以打破固體表面原有的化學鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀交聯(lián)結(jié)構(gòu)，極大地激活了表面活性。

　　3、新官能團的形成——化學作用:

　　如果在放電氣體中引入活性氣體，在活性材料的表面會發(fā)生復雜的化學反應，產(chǎn)生新的官能團，如烴基、氨基、羧基等。，它們能明顯提高材料的表面活性。

　　等離子清洗可以處理各種材料，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等聚合物)。所以特別適合不耐熱不耐溶劑的材料。還可以選擇性地部分清洗材料的整體、局部或復雜結(jié)構(gòu)；

　　真空等離子清洗機表面活化增強附著力的原理包括反應室、電源和真空泵組。當樣品放入反應室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動電源產(chǎn)生等離子體，然后向反應室內(nèi)通入氣體，使室內(nèi)的等離子體變成反應等離子體，與樣品表面反應產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學反應，可用于材料表面的活化、刻蝕和去污，提高材料的摩擦系數(shù)、附著力和親水性。