x射線和β射線法為非接觸式無損測量,測量范圍小。x射線法可以測量極薄的涂層、雙層涂層和合金涂層。β射線法適用于原子序數(shù)大于3的涂層和鍍層的測量。電容法僅在測量薄導(dǎo)體的絕緣涂層厚度時使用。
隨著科技的發(fā)展,特別是近年來微機(jī)技術(shù)的引入,X射線涂層測厚儀的使用向著小型化、智能化、多功能、高精度和實(shí)用化邁進(jìn)了一步。測量的分辨率達(dá)到了0.1微米,精度可以達(dá)到1%,有了很大的提高。由于其應(yīng)用范圍廣、測量范圍寬、操作簡單、價格低廉,在工業(yè)和科研中得到廣泛應(yīng)用。
Ux-720的性能優(yōu)勢
1.VisualFp基本參數(shù)分析軟件可以測試樣品的涂層厚度,無需標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)。
2.它不僅可以測試金屬涂層,還可以測量合金涂層、鋁合金涂層、玻璃涂層和塑料涂層,開創(chuàng)了XRF涂層厚度測量的綜合技術(shù)。
3.軟件可以根據(jù)樣品的材質(zhì)、形狀、大小自動設(shè)置光管的功率,不僅可以延長光管的使用壽命,還可以充分發(fā)揮探測器的性能,大大提高測量精度。
4.業(yè)界提供了一個開放的工作曲線校準(zhǔn)平臺,可以為每個用戶量身定制涂層分析的工作曲線。
5.三重射線防護(hù)(軟件、硬件、迷宮設(shè)計(jì)),確保操作人員的人身安全和意外操作造成的輻射傷害。
6.微調(diào)儀器外部樣品的設(shè)計(jì),以減少和防止樣品放置后關(guān)閉樣品蓋引起的振動引起的測試位置變化而導(dǎo)致的測試不準(zhǔn)確。
7.測試報告的輸出格式(Excel、PDF等。)可根據(jù)用戶要求定制,符合工廠的各種統(tǒng)計(jì)和格式要求。
8.行業(yè)專家達(dá)克羅涂層工藝厚度分析的軟件方法,完全替代金相顯微鏡技術(shù)在該行業(yè)的應(yīng)用。
9.軟件對測試結(jié)果進(jìn)行多次統(tǒng)計(jì)分析。
10.行業(yè)專家不僅可以測試涂層厚度,還可以同時分析基底和涂層成分的XRF。
Ux-720儀器技術(shù)指標(biāo)
1.分析元素范圍:Na-U
2.檢測范圍:1ppm-99.99%
3.檢測厚度:1納米
4.檢測厚度上限,30-50um(取決于材料)
5.檢測涂層數(shù)量:1-10。
6.測量時間:30-150秒(系統(tǒng)自動調(diào)整)
7.分辨率:145±5eV
8.準(zhǔn)直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自動切換。
9.濾光片:五種濾光片自動切換。
10.CCD觀察:260萬像素高清CCD。
11.樣品微動范圍:XY15mm。
12.儀器尺寸:680(寬)x400(深)x390(高)毫米
13.樣品腔尺寸:300 * 360 * 100mm
14.輸入電源:AC220V~240V,50/60Hz。
15.額定功率:350W
16.重量:約45Kg
17.工作環(huán)境溫度:15-30℃。
18.工作環(huán)境相對濕度:≤85%(無凝露)
19.穩(wěn)定性:重復(fù)測量誤差小于0.1%。