處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種:高速運(yùn)動的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)(自由基)；離子化的原子和分子；未反應(yīng)的分子、原子等。，但該物質(zhì)整體上保持電中性。

　　真空等離子清洗機(jī)表面活化增強(qiáng)附著力的原理包括反應(yīng)室、電源和真空泵組。當(dāng)樣品放入反應(yīng)室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動電源產(chǎn)生等離子體，然后向反應(yīng)室內(nèi)通入氣體，使室內(nèi)的等離子體變成反應(yīng)等離子體，與樣品表面反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學(xué)反應(yīng)，可以用來活化、刻蝕和去污材料表面，提高材料的摩擦系數(shù)、附著力和親水性。

　　無線電波范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強(qiáng)，可以深入到物體的微孔和凹陷處完成清潔任務(wù)，所以不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗相似甚至更好；

　　真空等離子清洗機(jī)技術(shù)作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機(jī)中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關(guān)注。在等離子清洗機(jī)的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機(jī)近年來發(fā)展迅速，等離子清洗機(jī)與其他方法相比有很多優(yōu)點(diǎn)。