等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)。通常情況下，物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在某些特殊情況下會(huì)出現(xiàn)第四種狀態(tài)，比如地球大氣層中電離層中的物質(zhì)。

　　等離子體清洗要控制的真空度約為100Pa，容易實(shí)現(xiàn)。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，清洗過(guò)程不需要使用昂貴的有機(jī)溶劑，使得整體成本低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；

　　等離子清洗使用戶遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)避免了濕式清洗中清洗對(duì)象易被沖走的問(wèn)題；

　　等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質(zhì)狀態(tài)，也叫物質(zhì)第四態(tài)。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團(tuán)、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，從而達(dá)到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。