真空等離子清洗機(jī)表面活化增強(qiáng)附著力的原理包括反應(yīng)室、電源和真空泵組。當(dāng)樣品放入反應(yīng)室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動(dòng)電源產(chǎn)生等離子體，然后向反應(yīng)室內(nèi)通入氣體，使室內(nèi)的等離子體變成反應(yīng)等離子體，與樣品表面反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學(xué)反應(yīng)，可以用來(lái)活化、刻蝕和去污材料表面，提高材料的摩擦系數(shù)、附著力和親水性。

　　等離子清洗的使用避免了清洗液的運(yùn)輸、儲(chǔ)存、排放等處理措施，生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)易于保持清潔衛(wèi)生；

　　使用等離子清洗可以大大提高清洗效率。整個(gè)清洗過(guò)程可以在幾分鐘內(nèi)完成，因此具有成品率高的特點(diǎn)；

　　等離子清洗可以處理各種材料，無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等聚合物)。所以特別適合不耐熱不耐溶劑的材料。還可以選擇性地部分清洗材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)；