涂層厚度的測量方法主要有:楔形切割法、光切法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射線熒光法、β射線背散射法、電容法、磁性測量法和渦流測量法。這些方法的前五種都是破壞性檢測，比較繁瑣，速度慢，大多適合抽樣檢驗。

　　隨著科技的發(fā)展，特別是近年來微機技術(shù)的引入，X射線涂層測厚儀的使用向著小型化、智能化、多功能、高精度和實用化邁進了一步。測量的分辨率達到了0.1微米，精度可以達到1%，有了很大的提高。由于其應(yīng)用范圍廣、測量范圍寬、操作簡單、價格低廉，在工業(yè)和科研中得到廣泛應(yīng)用。

　　Ux-720光導(dǎo)管

　　作用:產(chǎn)生X射線激發(fā)樣品，使被激發(fā)樣品中的各元素發(fā)出二次X射線。

　　使用壽命:使用壽命大于15000小時。

　　電壓:0 ~ 50千伏

　　功率:50 W

　　目標材料:鉬

　　Be窗厚度:400um

　　Ux-720檢測系統(tǒng)

　　功能:檢測樣品的特征X射線，對采集的信號進行處理，并將處理結(jié)果傳送給計算機。

　　型號:Si-PIN X-123(美國進口)

　　是窗戶嗎？？？:1毫米(0.0254毫米)

　　分辨率:145±5eV

　　系統(tǒng)峰背比:≥ 6200/1

　　能量響應(yīng)范圍:1千電子伏-40千電子伏

　　推薦計數(shù)率:5000cps