等離子體清洗要控制的真空度約為100Pa，容易實(shí)現(xiàn)。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，清洗過(guò)程不需要使用昂貴的有機(jī)溶劑，使得整體成本低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；

　　等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三部分，即控制單元、真空室和真空泵。

　　首先，控制單元

　　國(guó)內(nèi)使用的等離子清洗機(jī)，包括進(jìn)口的，有四種控制方式:半自動(dòng)控制、全自動(dòng)控制、PC電腦控制和LCD觸摸屏控制。

　　控制單元分為兩部分:

　　1)電源:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要電源匹配器。

　　2)系統(tǒng)控制單元:分為按鈕控制(半自動(dòng)、全自動(dòng))、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)三種。

　　二、真空室:

　　真空室主要分為兩種材料:

　　1)不銹鋼真空室。

　　2)應(yīng)時(shí)腔。

　　三、真空泵:

　　真空泵分為兩種類型:

　　1)干式泵。

　　2)油泵。

　　等離子清洗使用戶遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)避免了濕式清洗中清洗對(duì)象易被沖走的問(wèn)題；

　　處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種:高速運(yùn)動(dòng)的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)(自由基)；離子化的原子和分子；未反應(yīng)的分子、原子等。，但該物質(zhì)整體上保持電中性。