等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質狀態(tài)，也叫物質第四態(tài)。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質對樣品表面進行處理，從而達到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。

　　真空等離子清洗機產品的優(yōu)勢:

　　1.超大加工空間，提高加工能力，采用PLC觸摸屏控制系統(tǒng)控制設備運行。

　　2.設備腔體的容量和層數(shù)可根據(jù)客戶要求定制，滿足客戶需求。

　　3、維護成本低，便于客戶成本控制。

　　4.精度高，反應快，機動性和兼容性好，功能完善，技術支持好。

　　5.真空等離子清洗機表面活化的原理增強附著力，主要適用于生物醫(yī)藥行業(yè)、印刷電路板行業(yè)、半導體IC領域、硅膠、塑料、聚合物領域、汽車電子行業(yè)、航空工業(yè)等。

　　真空等離子清洗機技術作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機中以其能耗低、污染小、處理時間短、效果明顯而受到人們的關注。在等離子清洗機的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機近年來發(fā)展迅速，等離子清洗機與其他方法相比有很多優(yōu)點。

　　Vacuum plasma cleaning machine uses the activation of various high-energy substances in the plasma to completely peel off the dirt attached to the surface of the object. Take the removal of grease and dirt on the surface of an object by oxygen plasma as an example to illustrate these functions. The effect of plasma on grease dirt is similar to that of burning grease dirt. But the difference is that it "burns" at low temperature. Its basic principle: under the joint action of oxygen atom free radicals, excited oxygen molecules, electrons and ultraviolet rays in oxygen plasma, oil molecules are finally oxidized into water and carbon dioxide molecules, and are removed from the surface of the object.