等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也稱(chēng)為物質(zhì)的第四種狀態(tài)，不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)向氣體施加足夠的能量使其電離為等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、原子、活性基團(tuán)、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。

　　等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質(zhì)狀態(tài)，也叫物質(zhì)第四態(tài)。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團(tuán)、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，從而達(dá)到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。

　　處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種:高速運(yùn)動(dòng)的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)(自由基)；離子化的原子和分子；未反應(yīng)的分子、原子等。，但該物質(zhì)整體上保持電中性。

　　當(dāng)清潔和去污完成時(shí)，材料本身的表面性質(zhì)可以得到改善。例如改善表面的潤(rùn)濕性和改善膜的粘附性，這在許多應(yīng)用中是非常重要的。