被激發(fā)樣品中的每個元素都會發(fā)出次級X射線，不同元素發(fā)出的次級X射線具有特定的能量特征或波長特征。探測系統(tǒng)測量這些發(fā)射的次級X射線的能量和數(shù)量。然后，儀器軟件將檢測系統(tǒng)采集的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類和含量。

　　x射線熒光光譜儀是一種可以快速同時測定多種元素的儀器。樣品經(jīng)X射線照射后，各元素原子內(nèi)殼層(K、L或M層)的電子被激發(fā)，將原子逐出，引起電子躍遷，發(fā)出該元素的特征X射線熒光。每種元素都有其特有的特定波長的X射線。能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)利用熒光X射線能量不同的特點，通過探測器本身的能量分辨能力來區(qū)分探測到的X射線。

　　X射線熒光光譜儀可以根據(jù)各元素特征X射線的強度來確定元素的含量。

　　近年來，X射線熒光光譜分析在各個行業(yè)的應(yīng)用范圍不斷擴大，在冶金、地質(zhì)、有色金屬、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，尤其是在RoHS檢測領(lǐng)域。

　　它可以分析大多數(shù)分析元素，包括固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍從Be到u，具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小等特點。

　　X射線管發(fā)出的特征X射線照射樣品，樣品中含有的元素被X射線激發(fā)后會發(fā)出具有特定能量的X射線熒光。X射線熒光由檢測器檢測，根據(jù)X射線熒光的能量進(jìn)行定性(確定含有哪些元素)，根據(jù)X射線熒光的強度進(jìn)行定量(確定元素的含量)。