x射線和β射線法為非接觸式無損測量，測量范圍小。x射線法可以測量極薄的涂層、雙層涂層和合金涂層。β射線法適用于原子序數(shù)大于3的涂層和鍍層的測量。電容法僅在測量薄導體的絕緣涂層厚度時使用。

　　Ux-720高壓電源

　　功能:為X射線管提供穩(wěn)定的高壓。

　　輸入電壓:DC+24V±10%

　　輸出電壓:0 -50KV 1mA

　　功率:50W

　　電壓調(diào)整率:0.01%(從空載到滿載)

　　電流調(diào)整率:0.01%(從空載到滿載)

　　紋波電壓:在輸出額定電壓的前提下，紋波電壓的峰值為輸出電壓的0.25%。

　　8小時穩(wěn)定性:≤0.05%

　　Ux-720光導管

　　作用:產(chǎn)生X射線激發(fā)樣品，使被激發(fā)樣品中的各元素發(fā)出二次X射線。

　　使用壽命:使用壽命大于15000小時。

　　電壓:0 ~ 50千伏

　　功率:50 W

　　目標材料:鉬

　　Be窗厚度:400um

　　Ux-720儀器技術(shù)指標

　　1.分析元素范圍:Na-U

　　2.檢測范圍:1ppm-99.99%

　　3.檢測厚度:1納米

　　4.檢測厚度上限，30-50um(取決于材料)

　　5.檢測涂層數(shù)量:1-10。

　　6.測量時間:30-150秒(系統(tǒng)自動調(diào)整)

　　7.分辨率:145±5eV

　　8.準直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自動切換。

　　9.濾光片:五種濾光片自動切換。

　　10.CCD觀察:260萬像素高清CCD。

　　11.樣品微動范圍:XY15mm。

　　12.儀器尺寸:680(寬)x400(深)x390(高)毫米

　　13.樣品腔尺寸:300 * 360 * 100mm

　　14.輸入電源:AC220V~240V，50/60Hz。

　　15.額定功率:350W

　　16.重量:約45Kg

　　17.工作環(huán)境溫度:15-30℃。

　　18.工作環(huán)境相對濕度:≤85%(無凝露)

　　19.穩(wěn)定性:重復測量誤差小于0.1%。