在真空室內(nèi),由射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無序等離子體,用等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,達(dá)到清洗目的。
等離子清洗可以處理各種材料,無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等聚合物)。所以特別適合不耐熱不耐溶劑的材料。還可以選擇性地部分清洗材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu);
等離子清洗的使用避免了清洗液的運(yùn)輸、儲(chǔ)存、排放等處理措施,生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)易于保持清潔衛(wèi)生;
真空等離子清洗機(jī)
1.對(duì)材料表面的蝕刻作用-物理作用:
等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面,不僅去除了表面原有的污染物和雜質(zhì),還產(chǎn)生刻蝕,使樣品表面變得粗糙,形成許多微小的凹坑,增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤濕性。
2、活化鍵能,交聯(lián):
等離子體中粒子的能量為0~20eV,而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此,等離子體作用于固體表面后,可以打破固體表面原有的化學(xué)鍵,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀交聯(lián)結(jié)構(gòu),極大地激活了表面活性。
3、新官能團(tuán)的形成——化學(xué)作用:
如果在放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,活性物質(zhì)表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等。這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),可以明顯提高材料的表面活性。