等離子清洗可以處理各種材料，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等聚合物)。所以特別適合不耐熱不耐溶劑的材料。還可以選擇性地部分清洗材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)；

　　等離子體清洗要控制的真空度約為100Pa，容易實(shí)現(xiàn)。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，清洗過程不需要使用昂貴的有機(jī)溶劑，使得整體成本低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；

　　真空等離子清洗機(jī)

　　1.對(duì)材料表面的蝕刻作用-物理作用:

　　等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，還產(chǎn)生刻蝕，使樣品表面變得粗糙，形成許多微小的凹坑，增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤濕性。

　　2、活化鍵能，交聯(lián):

　　等離子體中粒子的能量為0~20eV，而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此，等離子體作用于固體表面后，可以打破固體表面原有的化學(xué)鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀交聯(lián)結(jié)構(gòu)，極大地激活了表面活性。

　　3、新官能團(tuán)的形成——化學(xué)作用:

　　如果在放電氣體中引入活性氣體，在活性材料的表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等。，它們能明顯提高材料的表面活性。

　　等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的第四種狀態(tài)，不屬于常見的固液氣三態(tài)向氣體施加足夠的能量使其電離為等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、原子、活性基團(tuán)、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。