等離子清洗機就是利用這些活性成分的特性來處理樣品表面，從而達到清洗和鍍膜的目的。

　　真空等離子清洗機表面活化增強附著力的原理包括反應(yīng)室、電源和真空泵組。當樣品放入反應(yīng)室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動電源產(chǎn)生等離子體，然后向反應(yīng)室內(nèi)通入氣體，使室內(nèi)的等離子體變成反應(yīng)等離子體，與樣品表面反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學反應(yīng)，可以用來活化、刻蝕和去污材料表面，提高材料的摩擦系數(shù)、附著力和親水性。

　　無線電波范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強，可以深入到物體的微孔和凹陷處完成清潔任務(wù)，所以不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗相似甚至更好；

　　等離子清洗可以處理各種材料，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等聚合物)。所以特別適合不耐熱不耐溶劑的材料。還可以選擇性地部分清洗材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)；