無線電波范圍內(nèi)的高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強，可以深入到物體的微孔和凹陷處完成清潔任務(wù)，所以不需要過多考慮被清潔物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗相似甚至更好；

　　等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質(zhì)狀態(tài)，也叫物質(zhì)第四態(tài)。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質(zhì)對樣品表面進行處理，從而達到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。

　　在真空室內(nèi)，由射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，達到清洗目的。

　　等離子清洗的使用避免了清洗液的運輸、儲存、排放等處理措施，生產(chǎn)現(xiàn)場易于保持清潔衛(wèi)生；