隨著科技的發(fā)展，特別是近年來微機技術的引入，X射線涂層測厚儀的使用向著小型化、智能化、多功能、高精度和實用化邁進了一步。測量的分辨率達到了0.1微米，精度可以達到1%，有了很大的提高。由于其應用范圍廣、測量范圍寬、操作簡單、價格低廉，在工業(yè)和科研中得到廣泛應用。

　　涂層厚度的測量方法主要有:楔形切割法、光切法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射線熒光法、β射線背散射法、電容法、磁性測量法和渦流測量法。這些方法的前五種都是破壞性檢測，比較繁瑣，速度慢，大多適合抽樣檢驗。

　　Ux-720光導管

　　作用:產生X射線激發(fā)樣品，使被激發(fā)樣品中的各元素發(fā)出二次X射線。

　　使用壽命:使用壽命大于15000小時。

　　電壓:0 ~ 50千伏

　　功率:50 W

　　目標材料:鉬

　　Be窗厚度:400um

　　Ux-720儀器技術指標

　　1.分析元素范圍:Na-U

　　2.檢測范圍:1ppm-99.99%

　　3.檢測厚度:1納米

　　4.檢測厚度上限，30-50um(取決于材料)

　　5.檢測涂層數(shù)量:1-10。

　　6.測量時間:30-150秒(系統(tǒng)自動調整)

　　7.分辨率:145±5eV

　　8.準直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自動切換。

　　9.濾光片:五種濾光片自動切換。

　　10.CCD觀察:260萬像素高清CCD。

　　11.樣品微動范圍:XY15mm。

　　12.儀器尺寸:680(寬)x400(深)x390(高)毫米

　　13.樣品腔尺寸:300 * 360 * 100mm

　　14.輸入電源:AC220V~240V，50/60Hz。

　　15.額定功率:350W

　　16.重量:約45Kg

　　17.工作環(huán)境溫度:15-30℃。

　　18.工作環(huán)境相對濕度:≤85%(無凝露)

　　19.穩(wěn)定性:重復測量誤差小于0.1%。