避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶劑，這樣清洗后就不會(huì)產(chǎn)生有害的污染物，所以這種清洗方法屬于環(huán)保綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)境保護(hù)的情況下越來(lái)越重要；

　　處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種:高速運(yùn)動(dòng)的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)(自由基)；離子化的原子和分子；未反應(yīng)的分子、原子等。，但該物質(zhì)整體上保持電中性。

　　等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)。通常情況下，物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在某些特殊情況下會(huì)出現(xiàn)第四種狀態(tài)，比如地球大氣層中電離層中的物質(zhì)。

　　等離子體和固體、液體或氣體一樣，是一種物質(zhì)狀態(tài)，也叫物質(zhì)第四態(tài)。向氣體施加足夠的能量以將其電離成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團(tuán)、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體表面處理儀器就是利用這些活性成分的性質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行處理，從而達(dá)到清洗、修飾和灰化光刻膠的目的。