在真空室內(nèi)，由射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，達(dá)到清洗目的。

　　處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種:高速運(yùn)動的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)(自由基)；離子化的原子和分子；未反應(yīng)的分子、原子等。，但該物質(zhì)整體上保持電中性。

　　真空等離子清洗機(jī)表面活化增強(qiáng)附著力的原理包括反應(yīng)室、電源和真空泵組。當(dāng)樣品放入反應(yīng)室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動電源產(chǎn)生等離子體，然后向反應(yīng)室內(nèi)通入氣體，使室內(nèi)的等離子體變成反應(yīng)等離子體，與樣品表面反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學(xué)反應(yīng)，可用于材料表面的活化、刻蝕和去污，提高材料的摩擦系數(shù)、附著力和親水性。

　　等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三部分，即控制單元、真空室和真空泵。

　　首先，控制單元

　　國內(nèi)使用的等離子清洗機(jī)，包括進(jìn)口的，有四種控制方式:半自動控制、全自動控制、PC電腦控制和LCD觸摸屏控制。

　　控制單元分為兩部分:

　　1)電源:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要電源匹配器。

　　2)系統(tǒng)控制單元:分為按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)三種。

　　二、真空室:

　　真空室主要分為兩種材料:

　　1)不銹鋼真空室。

　　2)應(yīng)時腔。

　　三、真空泵:

　　真空泵分為兩種類型:

　　1)干式泵。

　　2)油泵。