當(dāng)清潔和去污完成時，材料本身的表面性質(zhì)可以得到改善。例如改善表面的潤濕性和改善膜的粘附性，這在許多應(yīng)用中是非常重要的。

　　等離子清洗使用戶遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害，同時避免了濕式清洗中清洗對象易被沖走的問題；

　　真空等離子清洗機(jī)

　　1.對材料表面的蝕刻作用-物理作用:

　　等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，還產(chǎn)生刻蝕，使樣品表面變得粗糙，形成許多微小的凹坑，增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤濕性。

　　2、活化鍵能，交聯(lián):

　　等離子體中粒子的能量為0~20eV，而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此，等離子體作用于固體表面后，可以打破固體表面原有的化學(xué)鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀交聯(lián)結(jié)構(gòu)，極大地激活了表面活性。

　　3、新官能團(tuán)的形成——化學(xué)作用:

　　如果在放電氣體中引入活性氣體，在活性材料的表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等。，它們能明顯提高材料的表面活性。

　　在真空室內(nèi)，由射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，達(dá)到清洗目的。