真空等離子清洗機(jī)

　　1.對材料表面的蝕刻作用-物理作用:

　　等離子體中大量的離子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固體樣品表面，不僅去除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，還產(chǎn)生刻蝕，使樣品表面變得粗糙，形成許多微小的凹坑，增加了樣品的比表面積。改善固體表面的潤濕性。

　　2、活化鍵能，交聯(lián):

　　等離子體中粒子的能量為0~20eV，而聚合物中大部分鍵的能量為0~10eV。因此，等離子體作用于固體表面后，可以打破固體表面原有的化學(xué)鍵，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀交聯(lián)結(jié)構(gòu)，極大地激活了表面活性。

　　3、新官能團(tuán)的形成——化學(xué)作用:

　　如果在放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，活性物質(zhì)表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等。這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，可以明顯提高材料的表面活性。

　　等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的第四種狀態(tài)，不屬于常見的固液氣三態(tài)向氣體施加足夠的能量使其電離為等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、原子、活性基團(tuán)、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。

　　避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶劑，這樣清洗后就不會產(chǎn)生有害的污染物，所以這種清洗方法屬于環(huán)保綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)境保護(hù)的情況下越來越重要；

　　當(dāng)清潔和去污完成時，材料本身的表面性質(zhì)可以得到改善。例如改善表面的潤濕性和改善膜的粘附性，這在許多應(yīng)用中是非常重要的。