x射線熒光光譜儀是一種可以快速同時測定多種元素的儀器。樣品經(jīng)X射線照射后，各元素原子內(nèi)殼層(K、L或M層)的電子被激發(fā)，將原子逐出，引起電子躍遷，發(fā)出該元素的特征X射線熒光。每種元素都有其特有的特定波長的X射線。能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)利用熒光X射線能量不同的特點，通過探測器本身的能量分辨能力來區(qū)分探測到的X射線。

　　與波長色散X射線熒光光譜儀相比，使用脈沖高度分析器的能量色散X射線熒光光譜儀具有簡單的結(jié)構(gòu)?？梢允褂玫凸β蔢射線管激發(fā)和簡單的分光系統(tǒng)。

　　光源激發(fā)樣品產(chǎn)生的特征X射線直接進入探測器，探測器將光信號轉(zhuǎn)換成電信號，主放大器輸出的脈沖傳輸?shù)紸DC(模數(shù)轉(zhuǎn)換器)，ADC將具有脈沖幅度的模擬信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號，產(chǎn)生的數(shù)字信號作為與MCA連接的地址，然后根據(jù)這些地址檢測不同脈沖即X射線的能量，記錄相應(yīng)的脈沖數(shù)。

　　X射線管發(fā)出的特征X射線照射樣品，樣品中含有的元素被X射線激發(fā)后會發(fā)出具有特定能量的X射線熒光。X射線熒光由檢測器檢測，根據(jù)X射線熒光的能量進行定性(確定含有哪些元素)，根據(jù)X射線熒光的強度進行定量(確定元素的含量)。