真空等離子清洗機(jī)利用等離子體中各種高能物質(zhì)的活化作用，徹底剝離附著在物體表面的污垢。以氧等離子體去除物體表面的油脂和污垢為例來說明這些作用。等離子體對(duì)油垢的作用類似于燃燒油垢。但不同的是，它在低溫下“燃燒”。其基本原理:在氧等離子體中氧原子自由基、受激氧分子、電子和紫外線的共同作用下，油分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，從物體表面被清除。

　　等離子清洗的使用避免了清洗液的運(yùn)輸、儲(chǔ)存、排放等處理措施，生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)易于保持清潔衛(wèi)生；

　　真空等離子清洗機(jī)技術(shù)作為一種新的材料表面改性方法，在等離子清洗機(jī)中以其能耗低、污染小、處理時(shí)間短、效果明顯而受到人們的關(guān)注。在等離子清洗機(jī)的眾多改造方法中，低溫等離子清洗機(jī)近年來發(fā)展迅速，等離子清洗機(jī)與其他方法相比有很多優(yōu)點(diǎn)。

　　真空等離子清洗機(jī)表面活化增強(qiáng)附著力的原理包括反應(yīng)室、電源和真空泵組。當(dāng)樣品放入反應(yīng)室后，真空泵開始抽空氣到一定的真空度，啟動(dòng)電源產(chǎn)生等離子體，然后向反應(yīng)室內(nèi)通入氣體，使室內(nèi)的等離子體變成反應(yīng)等離子體，與樣品表面反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物，由真空泵抽出。等離子體高能粒子與材料表面的物理化學(xué)反應(yīng)，可以用來活化、刻蝕和去污材料表面，提高材料的摩擦系數(shù)、附著力和親水性。